ソフトウェア製品

Equipment Adapterは、半導体・液晶製造装置・検査装置をオンライン対応する為のソフトウェアパッケージです。
貴社の装置を簡単・迅速・安価にSEMI準拠の装置へ対応可能にします。

HSMSSimV2は、SECS-I、およびHSMS-SSプロトコルをサポートした通信シミュレータです。
デバッグやテストを効率化し、またその通信ログはテスト結果として使用可能です。

EDA Adapterは、SEMIスタンダード及びSelete仕様の装置の歩留まり向上のために必要なデータ収集システムを容易に構築します。